The project comprises industrial research and pre-competitive development for five work packages (light sources, optics, masks, mask carriers and resist and lithography process development).
Ce projet consiste dans des travaux de recherche industrielle et de développement préconcurrentiel s'articulant autour de cinq modules (les sources lumineuses, l'optique, les masques, les supports de masque et la mise au point de procédés de réserve et lithographiques).
