The clean technology project of IMEC in the semiconductor production aims to demonstrate the complete elimination of the use of sulphuric acid and important de-ionised water savings for wafer rinsing
Le projet de technologie propre d'IMEC dans la production de semi-conducteurs entend éliminer complètement l'utilisation d'acide sulfurique et diminuer considérablement la quantité d'eau désionisée employée pour le rinçage des plaques.