Aid intensity or amount: Light sources 43,2 %; Optics 37 %; Mask 42,7 %; Mask carrier 36,7 %; Process/resist 47,1 %; Total 39,9 %
Steunintensiteit of steunbedrag: Lichtbronnen 43,2 %; optiek 37 %; masker 42,7 %; maskerdrager 36,7 %; proces/resist 47,1 %: totaal 39,9 %