appareils destinés à la création de couches minces suite à l’évaporation de particules causée par l’impact de faisceaux d’électrons ou d’ions (« sputtering ») ? v) La subdivision en fonction de l’application est relativement artificielle; de
iv) Waarom is er een onderscheid gemaakt tussen elektronenmicroscopen en sommige toestellen om dunne lagen te creëren door afdampen van deeltjes na impact van elektronen- of ionenbundels (“sputtering”) ? v) De opsplitsing volgens toepassing is nogal artificieel; er zijn inderdaad vele
