un ou plusieurs miroirs microélectromécaniques (MEMS), avec des éléments mécaniques intégrés dans des structures tridimensionnelles sur le matériau semi-conducteur, fabriqués selon la technique des semi-conducteurs
een of meer micro-elektromechanische sensorelementen (MEMS) vervaardigd met behulp van halfgeleidertechnologie, met mechanische componenten geplaatst in driedimensionele structuren op het halfgeleidermateriaal