Le système laser employé dans le procédé SILMO comprend généralement un laser à CO ou un laser à excimère et une cellule optique à multipassages munie de miroirs tournants aux deux extrémités.
Lasersystemen voor het MLIS-proces bestaan doorgaans uit een CO - of excimere-laser en een multi-pass optische-cel met aan beide uiteinden draaiende spiegels.