Zij zijn belangrijk voor de vooruitgang in de micro- en nano-elektronica en hun rol wordt algemeen erkend. Dat blijkt bijvoorbeeld uit de recente strategische investering van grote halfgeleiderondernemingen in ASML[22].
Sie spielen eine wichtige Rolle bei der Vorantreibung der Mikro- und Nanoelektronik. Dies wird auch anerkannt, wie es z. B. die jüngste strategische Investition großer Halbleiterunternehmen in ASML belegt[22].