ontwerptechnologieën, -processen en -integratie, apparatuur, materialen en fabricage op het gebied van micro- en nano-elektronica, gericht op miniaturisering, diversificatie en differentiatie en heterogene integratie;
Entwurfstechnik, -verfahren und -integration, Ausrüstung, Materialien und Fertigung für Mikro- und Nanoelektronik mit dem Ziel der Miniaturisierung, Diversifizierung und Differenzierung, heterogene Integration;