Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14 : Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)
Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 14 : Evaluation de l'aptitude à l'emploi des équipements par la détermination de la concentration de particules en suspension dans l'air (ISO 14644-14:2016)