Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 11 : Méthode d'essai pour les coefficients de dilatation thermique des matériaux autonomes pour systèmes microélectromécaniques (1 édition)
Halfgeleiders - Micro-elektromechanische toestellen - Deel 11 : Testmethode voor de lineaire thermische uitzettingscoëfficiënten van de materialen voor autonome MEMS (1e uitgave)