d'un ou de plusieurs capteurs micro-électromécaniques (MEMS) fabriqués selon la technique des semi-conducteurs avec des éléments mécaniques intégrés dans des structures tridimensionnelles sur le matériau semi- conducteur,
één of meerdere micro-elektromechanische sensorelementen (MEMS) vervaardigd met behulp van halfgeleidertechnologie, met mechanische componenten geplaatst in driedimensionele structuren op het halfgeleidermateriaal,